【技术实现步骤摘要】
真空装置
[0001]本专利技术涉及一种真空装置。
技术介绍
[0002]在专利文献1中公开了一种收容电机的真空泵。根据该文献，电机的旋转轴通过一对轴承被固定。在旋转轴设置有旋转叶片，电机使旋转叶片旋转，由此作为泵发挥作用。在轴承的滚珠劣化时，轴承振动。根据该文献，在轴承的固有振动数的旋转速度范围中，通过使该轴承的振动衰减，真空泵能够降低主轴的倾斜和轴向的错位。为了这种真空泵的预知保全，可以考虑安装搭载了传感器单元的监视装置。
[0003]专利文献1：日本特开2000
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74080号公报
[0004]但是，在真空泵等振动源安装监视装置并非易事。具体地，由于与作为振动源的轴承较近的部分达到高温，所以导致监视装置的感测精度降低。当在远离振动源的部分设置监视装置时，虽然监视装置的温度下降，但是导致从轴承传递的振动衰减，所以导致振动检测精度降低。因此，需要这样的构造，即使是在振动源的附近筐体的温度上升的部位，也能够抑制监视装置的温度上升。
技术实现思路
[0005]真空装置具备：可动...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空装置，其特征在于，具备：可动体；筐体，收容所述可动体；以及监视装置，安装于所述筐体，检测所述筐体的振动，所述筐体具备第一流路，在从与所述监视装置的安装面垂直的方向观察即俯视时，所述第一流路以与所述监视装置重叠的方式使制冷剂流动。2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述筐体具备使所述制冷剂在与所述可动体对置的部分流动的第二流路，所述真空装置具备分支部，所述分支部将供给所述制冷剂的供给流路分支成所述第一流路和所述第二流路。3.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述筐体具备使所述制冷剂在与所述可动体对置的部分流动的第二流路，供给所述制冷剂的供给...
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