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文档序号:32506586
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泵装置(1)具备压电泵(10)和外部壳体(70)。压电泵(10)具备:具有吸入口(400)和排出口(520)的泵壳体、配置于泵壳体的内部并将泵壳体的内部空间(500)划分为靠吸入口(400)侧的第一空间(501)和靠排出口侧的第二空间(50...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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