下载光子电路制造中的损耗监测的技术资料

文档序号:32506132

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本公开的实施例涉及光子电路制造中的损耗监测。光学制造监测器结构可以被包括在由掩模或制造光罩在晶片上进行制造的设计中。第一组件集合可以在初始制造周期中被形成,其中第一组件集合包括功能性组件和监测器结构。第二组件集合可以通过后续制造过程形成,后...
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