下载一种制备肖特基结构二极管的方法、装置和二极管的技术资料

文档序号:32505831

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本申请提供一种制备肖特基结构二极管的方法、装置和二极管,用于在不增加肖特基结构二极管体积的前提下,降低肖特基结构二极管的正向导通损耗,减少肖特基势垒分布不均匀的情况。该方法包括:在碳化硅衬底的外延层上生长电子扩展层,其中,所述电子扩展层的电...
该专利属于珠海零边界集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海零边界集成电路有限公司授权不得商用。

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