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本发明属于蚀刻技术领域，特别是涉及一种含铜金属膜用蚀刻液。包括过氧化氢、有机酸、金属螯合剂、有机溶剂和水；所述有机溶剂为砜类和/或含羟基醚类。本发明实施例中以过氧化氢作为主要氧化剂，有机酸辅助所述过氧化氢，加速铜的溶解，添加所述金属螯合剂来...
该专利属于深圳新宙邦科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新宙邦科技股份有限公司授权不得商用。

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