下载硅片收片装置的技术资料

文档序号:32500454

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本实用新型涉及一种硅片收片装置,包括主输送机构、输送过渡机构、吸盘横移机构、支线输送机构及硅片收片机构;主输送机构被配置为将多片硅片依次输送至输送过渡机构;输送过渡机构与吸盘横移机构被配置为将输送过渡机构上接收的硅片交替输送至支线输送机构;...
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