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本发明提供一种光敏树脂,其化学结构式如下:其中,是二酐单体残基,是二胺单体残基,m=0.2~1,n=5~200。本发明提供的光敏树脂的分子结构中含有羧基和三氟甲基,光敏树脂进一步制备成光刻胶后能够在碱性水溶液中显影,绿色环保,主链为高度刚性...该专利属于广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院授权不得商用。
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