下载图像传感器的形成方法的技术资料

文档序号:32491290

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一种图像传感器的形成方法,包括:提供基底,所述基底内具有光电掺杂区;在所述基底上形成栅极结构,所述栅极结构包括:位于所述光电掺杂区表面的栅氧层、以及位于所述栅氧层表面的栅电极;在形成所述栅极结构之后,进行紫外线辐射处理。从而,改善了图像传感...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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