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本实用新型公开了一种集成晶圆加工用划片装置,包括:加工台,加工台的上端安装有晶圆切割组件及冷却组件,加工台的上端开设有通口,加工台的通口口壁上固定连接有放置环,加工台的内部且位于通口的下方开设有内腔,内腔的内部设置有收集盘,收集盘转动连接于...该专利属于上海华友金裕微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华友金裕微电子有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种集成晶圆加工用划片装置,包括:加工台,加工台的上端安装有晶圆切割组件及冷却组件,加工台的上端开设有通口,加工台的通口口壁上固定连接有放置环,加工台的内部且位于通口的下方开设有内腔,内腔的内部设置有收集盘,收集盘转动连接于...