下载大口径熔石英光学元件表面微缺陷的自动化激光修复方法的技术资料

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大口径熔石英光学元件表面微缺陷的自动化激光修复方法,涉及工程光学技术领域,用以解决现有修复方法存在自动化程度低且效率低下的问题。本发明的技术要点包括:根据元件表面缺陷区域的位置信息和尺寸信息确定修复策略;依据修复策略,利用激光修复装置对元件...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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