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大口径熔石英光学元件表面微缺陷的自动化激光修复方法技术
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文档序号:32480683
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大口径熔石英光学元件表面微缺陷的自动化激光修复方法,涉及工程光学技术领域,用以解决现有修复方法存在自动化程度低且效率低下的问题。本发明的技术要点包括:根据元件表面缺陷区域的位置信息和尺寸信息确定修复策略;依据修复策略,利用激光修复装置对元件...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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