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一种图像传感器的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底包括像素区和逻辑区;对所述像素区注入第一离子,在所述像素区内形成若干光电区;在所述逻辑区内形成若干有源区,相邻的所述有源区之间具有沟槽;在所述沟槽内形成隔离层,在形成所述隔离层的过程中具有热...该专利属于华虹半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华虹半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
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一种图像传感器的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底包括像素区和逻辑区;对所述像素区注入第一离子,在所述像素区内形成若干光电区;在所述逻辑区内形成若干有源区,相邻的所述有源区之间具有沟槽;在所述沟槽内形成隔离层,在形成所述隔离层的过程中具有热...