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本实用新型涉及一种晶圆单盒、晶舟盒及湿法刻蚀装置。包括：框架；转动盒，所述转动盒上设置有安装槽，所述安装槽用于安装晶片；其中，所述转动盒设置在所述框架内并与所述框架转动连接。本方案中，由于安装有晶片的转动盒可以相对于框架转动，当把该晶圆单盒...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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