下载干燥气换热装置的技术资料

文档序号:32476498

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本实用新型涉及热交换领域,尤其是涉及一种干燥气换热装置。本实用新型提供的干燥气换热装置,用于芯片安装装置,所述芯片安装装置包括安装腔,包括干燥气发生机构、温度调节机构和换热机构;所述换热机构包括第一腔室和第二腔室,所述温度调节机构与所述第二...
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