下载触发电压可调的ESD保护结构及其制作方法的技术资料

文档序号:32476232

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本发明提供一种触发电压可调的ESD保护器件及其制作方法,所述ESD保护结构包括:具有第一导电类型的深阱和功能器件层,所述功能器件层位于所述深阱内,并且所述功能器件层包括:第二导电类型的体区;第一导电类型的源极和漏极;栅结构,设置于所述体区的...
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