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本实用新型公开了—种靶材加热烘干装置，涉及靶材制作技术领域，包括筒体与盖板以及固定在筒体内圆面的U形加热丝，所述筒体的内部设有旋转结构与设置在旋转结构上的固定结构，所述旋转结构包括电机与旋转架，所述筒体的内圆面底部固定连接有隔板，所述电机固...
该专利属于上海贺东电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海贺东电子材料有限公司授权不得商用。

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