—种靶材加热烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了—种靶材加热烘干装置，涉及靶材制作技术领域，包括筒体与盖板以及固定在筒体内圆面的U形加热丝，所述筒体的内部设有旋转结构与设置在旋转结构上的固定结构，所述旋转结构包括电机与旋转架，所述筒体的内圆面底部固定连接有隔板，所述电机固定连接在筒体内壁底部与隔板底面之间，所述电机的输出轴凸隔板的一端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的外部套接有与盖板底面中心处转动连接的升降架。该用于制备铂的装置，通过旋转架与安装架的配合设置，在使用装置的对靶材进行加热的时候，可以在使旋转架转动的同时，使安装架带动安装在上方的靶材进行转动，能够对靶材的不同部位进行加热，提高制备效果。提高制备效果。提高制备效果。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材加热烘干装置


[0001]本技术涉及靶材制作
，具体为一种靶材加热烘干装置。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上行程各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，高纯靶才是电子信息技术产业中不可或缺的关键材料，在制备时通常需要将高纯靶才放置在升温装置中进行高温加热，从而获得纯度较高的晶体。现有的用于制备靶材的装置的装置在使用的过程中对靶材进行加热的时候，靶材不能移动，使靶材受热不均，且内部结构不能取出，导致在取放的时候不够方便，影响操作的效率。
[0003]因此，提出—种靶材加热烘干装置来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题
[0005]本技术的目的在于提供—种靶材加热烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的用于制备靶材的装置的装置在使用的过程中对靶材进行加热的时候，靶材不能移动，使靶材受热不均，且内部结构不能取出，导致在取放的时候不够方便，影响操作的效率的问题。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材加热烘干装置，其特征在于：包括筒体（1）与盖板（2）以及固定在筒体（1）内圆面的U形加热丝（17），所述盖板（2）的顶部固定连接有与内部连通的真空泵（18），所述筒体（1）的内部设有旋转结构与设置在旋转结构上的固定结构，所述旋转结构包括电机（7）与旋转架（10），所述筒体（1）的内圆面底部固定连接有隔板（8），所述电机（7）固定连接在筒体（1）内壁底部与隔板（8）底面之间，所述电机（7）的输出轴凸隔板（8）的一端固定连接有旋转杆（11），所述旋转杆（11）的外部套接有与盖板（2）底面中心处转动连接的升降架（4），所述旋转架（10）对称固定连接在升降架（4）的两端，所述升降架（4）相对的内侧通过转轴（12）转动连接有安装架（5），在位于所述安装架（5）底部的转轴（12）凸出旋转架（10）底面的一端固定连接有齿轮（6），所述隔板（8）的顶面固定连接有与齿轮（6）啮合的齿盘（9）。2.根据权利要求1所述的一种靶材加热烘干装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，赵泽良，贾时君，尤青文，
申请(专利权)人：上海贺东电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：