温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法，该薄膜总厚度14~16微米，中间三层为A/B/C结构的聚酯基膜，A/B/C三层厚度比为4~7:36~42:4~7，A和C层的表面再各自涂布一层厚3~5微米的涂层；所述A/B/C结构的聚酯基...
该专利属于富维薄膜（山东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富维薄膜（山东）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。