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本发明公开了一种真空腔室在线清洗方法，用于在线清洗镀膜工艺使用的真空腔室以及气体喷淋头表面堆积的聚合物，包括以下步骤：S1、向真空腔室中通入工艺气体，通过向真空腔室施加射频电源，保持一段时间，工艺气体电离产生高能量的无序等离子体；S2、等离...
该专利属于苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）授权不得商用。

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