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一种蚀刻液和使用了所述蚀刻液的阵列基板的制作方法,所述蚀刻液包括以下组分:10~20%质量百分比的过氧化氢;0.05~5%质量百分比的蚀刻抑制剂;0.1~2%质量百分比的氟化物组合物;0.5~5%质量百分比的硅蚀刻助剂;2~10%质量百分比...该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。
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一种蚀刻液和使用了所述蚀刻液的阵列基板的制作方法,所述蚀刻液包括以下组分:10~20%质量百分比的过氧化氢;0.05~5%质量百分比的蚀刻抑制剂;0.1~2%质量百分比的氟化物组合物;0.5~5%质量百分比的硅蚀刻助剂;2~10%质量百分比...