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本发明提供了一种干涉三维形貌解算方法，包括：S1、对干涉仪进行标定，获得干涉仪的顶峰空间偏移量Δl；S2、利用干涉仪获取待测目标上每个像素采集点P(x
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该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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