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本发明提供一种激光能量调节装置和检测方法，激光能量调节装置激光器，用于发射不同波长的连续的激光；设置于激光器激光出射口一侧的用于将激光改变为准直平行光束的扩束镜片；设于扩束镜片激光口一侧的能量调节器，用于调节激光能量，能量调节器包括在不同区...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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