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一种用于处理基板的设备，包括：工艺室，所述工艺室通过将处理液分配到所述基板上来执行液体处理工艺；以及部件，所述部件设置在所述工艺室中。所述部件中的至少一者的表面由含有离子注入的氟树脂的材料形成。有离子注入的氟树脂的材料形成。有离子注入的氟树...
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