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本实用新型公开了一种气体混合装置和化学气相沉积设备。气体混合装置包括壳体，所述壳体内设有混气通道，所述混气通道的横截面积自进气端向出气端递增；还包括设置在所述壳体出气端的顶盖，所述顶盖上设有出气通道，所述出气通道与所述混气通道连通；所述出气...
该专利属于山东工业陶瓷研究设计院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东工业陶瓷研究设计院有限公司授权不得商用。

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