一种气体混合装置及化学气相沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气体混合装置和化学气相沉积设备。气体混合装置包括壳体，所述壳体内设有混气通道，所述混气通道的横截面积自进气端向出气端递增；还包括设置在所述壳体出气端的顶盖，所述顶盖上设有出气通道，所述出气通道与所述混气通道连通；所述出气通道包括若干阵列排布的通孔。本实用新型专利技术的化学气相沉积设备包括上述气体混合装置，能够快速均匀地进行化学气相沉积，并制得性能优异的材料。并制得性能优异的材料。并制得性能优异的材料。

【技术实现步骤摘要】
一种气体混合装置及化学气相沉积设备


[0001]本技术属于化学气相沉积领域，具体地说涉及一种气体混合装置及化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]航空航天用飞行器发动机尾喷管使用环境苛刻，要求尾喷管材料具有耐高温、抗氧化、耐烧蚀性能，碳纤维增强陶瓷基复合材料兼具上述性能以及轻质高强度的优点，成为尾喷管材料的重要候选材料。碳纤维增强陶瓷基复合材料的制备往往需采用化学气相沉积工艺进行热解碳的沉积。对于异形、大尺寸的样件，如何实现碳源气体和载气的均匀分布是化学气相沉积过程的难点。
[0003]因此，需要提供一种气体混合装置和化学气相沉积设备使得化学气相沉积均匀快速地进行。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本技术设计了一种气体混合装置及化学气相沉积设备，能够实现大尺寸、异性样件的快速均匀化学气相沉积。
[0005]本技术提供了一种气体混合装置，包括壳体，所述壳体内设有混气通道，所述混气通道的横截面积自进气端向出气端递增；还包括设置在所述壳体出气端的顶盖，所述顶盖上设有出气通道，所述出气通道与所述混气通道连通；所述出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体混合装置，其特征在于，包括壳体，所述壳体内设有混气通道，所述混气通道的横截面积自进气端向出气端递增；还包括设置在所述壳体出气端的顶盖，所述顶盖上设有出气通道，所述出气通道与所述混气通道连通；所述出气通道包括若干阵列排布的通孔。2.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述阵列为环形阵列，若干所述环形阵列按同心圆设置。3.根据权利要求2所述的气体混合装置，其特征在于，所述同心圆中相邻的两个圆的半径之差相同，所述半径之差等于所述同心圆中最小圆的半径。4.根据权利要求2所述的气体混合装置，其特征在于，所述同心圆的圆心位于所述混气通道的中心线上。5.根据权利要求1所述的气体混合...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨芳红，周长灵，李涵，徐鸿照，刘瑞祥，姜凯，
申请(专利权)人：山东工业陶瓷研究设计院有限公司，
类型：新型
国别省市：