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在支承框（６）的中央部形成有圆形状的开口（６１），将电渗部件（３）配置并支承在该开口（６１）中。在开口（６１）的周围，在支承框（６）上形成有衰减室（空间）（６２）。通过贯通有衰减室（６２），形成将衰减室（６２）与开口（６１）分隔的弹性片（６...
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