温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种气体流量调节装置和调节方法及等离子体处理装置，气体流量调节装置包含气体挡板和设置在气体挡板上的多个可升降隔离组件，隔离组件对底板与安装基板之间形成的圆形气体分配区域和环形气体分配区域的面积进行动态调节，从而使圆形气体分配区域和/或环形气...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。