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本发明适用于自由曲面测量领域，公开了等效元件、等效元件的制备方法、检测精度校验方法，检测精度校验方法通过两种方法检测大口径自由曲面元件的精度，并且利用尺寸小于被检元件的等效元件代替大口径自由曲面元件进行精度检测，使得检测精度校验方法可以使用...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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