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聚合物及其制造方法以及抗蚀剂用树脂组合物技术
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文档序号:32434280
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本发明的课题是提供聚合物及其制造方法,所述聚合物为包含来源于对羟基苯乙烯的结构单元、和具有羧酸被缩醛基保护的结构的结构单元的聚合物,并且在制造过程中由于缩醛基的脱离、缩醛基的移动而产生的结构单元极少。本发明的解决手段为:在共轭酸的pKa为1...
该专利属于丸善石油化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过丸善石油化学株式会社授权不得商用。
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