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本发明请求保护一种微机电系统，包括具有主延伸平面的衬底，其中，微机电系统包括质量结构，其中，质量结构沿垂直于主延伸平面的垂直方向相对于衬底能运动地构造，其中，质量结构具有电极结构，其中，衬底具有对应电极结构，其中，电极结构和对应电极结构电容...
该专利属于罗伯特所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特授权不得商用。

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