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微电子装置以及相关存储器装置、电子系统和方法制造方法及图纸
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文档序号:32433139
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本申请涉及微电子装置以及相关存储器装置、电子系统和方法。所述微电子装置包括:导柱结构,其竖直延伸穿过隔离材料;导电线,其电耦合到所述导柱结构;所述导柱结构和所述导电线之间的接触结构;以及所述导电线和所述接触结构之间的互连结构。所述导电线包括...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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