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公开一种用于检测的探针的制造方法及制造装置。制造方法包括以下步骤：通过微机电系统(MEMS)工艺配备多个端子通过系杆连接到支撑框架的端子集合；配备具有沿长度方向贯通的中空部的筒形的筒体；将所述筒体的一端部插入到所述端子集合的各端子并固定；以...
该专利属于李诺工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过李诺工业股份有限公司授权不得商用。

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