下载热处理炉的技术资料

文档序号:32432030

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本发明提供一种热处理炉,其能够提高从薄膜体中除去水分的效率。该热处理炉具备:炉体、输送装置、多个导向辊、加热装置、供气装置、以及排气装置。输送装置将从输入口架设到输出口的被处理物亦即薄膜体从输入口经过处理室而向输出口输送。多个导向辊用于对通...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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