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本发明提供一种处理基板的装置。处理基板的装置可以包括：壳体，具有处理空间；传送机器人，将基板搬入所述处理空间，或者从所述处理空间搬出基板；支撑单元，具有在所述处理空间中支撑基板的卡盘以及在上下方向上移动基板的升降销；电介质板，配置为其底面与...
该专利属于PSK有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过PSK有限公司授权不得商用。

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