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一种晶圆焊垫结构及其形成方法,包括:第一衬底,第一衬底包括器件结构和电互连结构;位于电互连结构上的第一钝化层;位于第一钝化层上的第一保护层,第一钝化层和第一保护层内具有第一开口;位于第一开口内的连接层;位于第一保护层和连接层上的焊垫结构;位...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种晶圆焊垫结构及其形成方法,包括:第一衬底,第一衬底包括器件结构和电互连结构;位于电互连结构上的第一钝化层;位于第一钝化层上的第一保护层,第一钝化层和第一保护层内具有第一开口;位于第一开口内的连接层;位于第一保护层和连接层上的焊垫结构;位...