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本实用新型属于刻蚀工艺技术领域，具体涉及一种等离子刻蚀机的介质窗匀温装置，本装置包括散热风扇和散热风扇屏蔽罩，散热风扇安装在散热风扇屏蔽罩内，每个散热风扇的出风面均朝向加热器中心区域；每个散热风扇屏蔽罩的朝向屏蔽罩顶面中心点的一端与屏蔽罩铰...
该专利属于北京鲁汶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京鲁汶半导体科技有限公司授权不得商用。

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