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本公开提供一种双面抛光垫更换装置，其包括底架、升降杆、支架、至少四个悬臂及多个盘体；升降杆穿入底架；支架包括底板和至少四个轴，底板固定于升降杆，轴围绕底板的中心；各悬臂枢转套设于轴，各悬臂设有凹槽；各盘体设置在悬臂的上表面，各盘体用于支撑双...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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