双面抛光垫更换装置制造方法及图纸

本公开提供一种双面抛光垫更换装置，其包括底架、升降杆、支架、至少四个悬臂及多个盘体；升降杆穿入底架；支架包括底板和至少四个轴，底板固定于升降杆，轴围绕底板的中心；各悬臂枢转套设于轴，各悬臂设有凹槽；各盘体设置在悬臂的上表面，各盘体用于支撑双面抛光垫，各盘体的厚度允许手伸入双面抛光垫和悬臂之间；各凹槽内设置有弹性件，弹性件包括帽体和弹簧，帽体具有凹部，弹簧的上端抵靠凹部而弹簧的下端抵靠凹槽，弹簧能够在凹槽内平移和旋转；未放置双面抛光垫时，帽体超出盘体的上表面；放置上双面抛光垫时，弹簧被压缩；弹簧的弹性伸长设置成：在贴双面抛光垫时能够使帽体伸入双面抛光垫的开孔、背胶保护纸的穿孔和上定位盘的供药孔。位盘的供药孔。位盘的供药孔。

【技术实现步骤摘要】
双面抛光垫更换装置


[0001]本公开涉及半导体领域，更具体地涉及一种双面抛光垫更换装置。

技术介绍

[0002]作为第二代半导体材料的砷化镓、磷化铟等，凭借其优越的电子特性已经在移动电话、红外光学及卫星通讯等领域展现出了越来越广阔的应用前景。但是，在由砷化镓晶体生长到砷化镓晶片成品进入的实际应用的生产过程中，还要经过一系列复杂的加工工艺，其中，在大尺寸(6寸以上)及高平整度的双面抛光工艺过程中，必须使用到一种以聚氨脂或无纺布为主要材料的抛光垫(PAD)。在双面抛光工艺中，贴附在双面抛光机的上定盘的抛光垫必须要定期更换，更换时，每次都需要三个人同时作业，其中两人站立在双面抛光机两侧，双手各拿一支和上定盘供药孔孔径大小类似的笔杆，顶着抛光垫的开孔和上定盘的供药孔保持位置一致，即对孔(此操作需头部伸入上定盘内配合检查其它孔是否有对齐，手臂折曲往上定盘使力，所以特别费力)，另一人在开始贴抛光垫前，需反复检查抛光垫的开孔和双面抛光机的供药孔是否已经全部对齐，确认完后，则撕开抛光垫边上的一处背胶保护胶纸，用压垫锤逐次赶压将抛光垫均匀平整地粘贴到双面抛光机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面抛光垫更换装置(100)，其特征在于，包括底架(1)、升降杆(2)、支架(3)、至少四个悬臂(4)以及多个盘体(5)；升降杆(2)穿入底架(1)，能够在上下方向(D1)上升降；支架(3)包括底板(31)和至少四个轴(32)，底板(31)固定于升降杆(2)的顶端，所述至少四个轴(32)围绕底板(31)的中心沿周向间隔布置；各悬臂(4)枢转套设于对应一个轴(32)，以能够围绕对应一个轴(32)枢转，各悬臂(4)设置有直线延伸的凹槽(41)；各盘体(5)设置在对应一个悬臂(4)的末端的上表面(42)，各盘体(5)用于在双面抛光垫(200)粘贴在双面抛光机的上定位盘(300)的过程中支撑双面抛光垫(200)的一部分，各盘体(5)的厚度设定为允许手伸入在支撑的双面抛光垫(200)和对应一个悬臂(4)的上表面(42)之间；各凹槽(41)内设置有多个弹性件(6)，弹性件(6)的数量等于在同一径向上双面抛光垫(200)的开孔(200a)和上定位盘(300)的供药孔(300a)的最大数量，各弹性件(6)包括帽体(61)和弹簧(62)，帽体(61)具有仅下端开口的凹部(611)，弹簧(62)的上端抵靠凹部(611)的底壁(611a)而弹簧(62)的下端抵靠凹槽(41)的底面(411)，各弹性件(6)的弹簧(62)能够在凹槽(41)内沿凹槽(41)平移和旋转；在未放置双面抛光垫(200)时，各弹性件(6)的帽体(61)的顶面(612)超出所述多个盘体(5)的上表面(51)；在放置上双面抛光垫(200)时，各弹性件(6)的弹簧(62)被压缩，且各弹性件(6)的帽体(61)与悬臂(4)的上表面(42)间隔开或进入凹槽(41)内；各弹性件(6)的弹簧(62)的弹性伸长设置成：在贴双面抛光垫(200)时能够使得帽体(61)伸入双面抛光垫(200)的开孔(200a)、背胶保护纸(400)的穿孔(400a)和上定位盘(300)的供药孔(300a)以使双面抛光垫(200)和上定位盘(300)相对彼此定位。2.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐林锋，肖进龙，况正东，马金峰，周铁军，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：