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本实用新型公开了一种真空腔室密封器件的冷却装置，包括真空腔体和冷水机，所述真空腔体的顶部固定设置有密封上盖，所述密封上盖的外侧中部固定设置有密封圈，所述冷水机靠近真空腔体的一侧中部固定连接有供水管，所述冷水机于供水管的一侧固定连接有回流管，...
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