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一种双面镀膜设备，属于半导体制备领域。镀膜设备具有镀膜室，镀膜室内具有第一加工部以及第二加工部，第一加工部以及第二加工部间隔布置形成用于容置柔性基材的间隙，第一加工部具有沿间隙的延伸方向间隔布置的多个第一加工区，每个第一加工区用于在柔性基材...
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