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本实用新型公开了一种八英寸硅片金属掩膜加载装置，涉及硅片掩膜加工技术领域。本实用新型包括硅片承载机构、掩膜版加载机构与显示机构，所述硅片承载机构包括主板、支撑柱、伸缩柱、放置板、装载台、限位环、第一电磁铁、调节块、主陶瓷托盘与第二电磁铁，主...
该专利属于绍兴埃鼎智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴埃鼎智能科技有限公司授权不得商用。

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