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本实用新型公开一种晶圆黏膜分离设备及其离膜装置，用于框架黏膜组，框架黏膜组包含黏接的框架及黏膜，框架具有镂空口，此晶圆黏膜分离设备包括离膜装置，离膜装置包含承放架、吹膜机构及吸膜机构，承放架用于置放框架黏膜组；吹膜机构配置在承放架上方，吹膜...
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