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一种隔膜泵，能够防止因隔膜的故障引起的气体漏出，同时能够实现泵结构的小型化。本发明所涉及的隔膜泵（３０），其设置在马达壳体（３３）和泵头（４４）之间的泵壳体（４５）具有密闭结构。因此，即使吸引气体经由因隔膜（４２）产生的疲劳和劣化导致的断裂...
该专利属于ULVAC机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ULVAC机工株式会社授权不得商用。

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