隔膜泵制造技术

一种隔膜泵，能够防止因隔膜的故障引起的气体漏出，同时能够实现泵结构的小型化。本发明专利技术所涉及的隔膜泵（３０），其设置在马达壳体（３３）和泵头（４４）之间的泵壳体（４５）具有密闭结构。因此，即使吸引气体经由因隔膜（４２）产生的疲劳和劣化导致的断裂部而从泵室（４６）向泵壳体（４５）内漏出，也能够避免漏出气体从泵壳体（４５）向该泵的外部排放。另外，由于泵壳体（４５）为配置在泵头（４４）和马达壳体（３３）之间的结构，所以能够避免泵的大型化。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种隔膜泵，包括电动马达、收容上述电动马达的马达壳体、与上述电动马达的马达轴结合着的偏心轴、可绕上述偏心轴旋转地连接着的连杆、固定在上述连杆的前端上的隔膜、支承上述隔膜的周缘的泵头、形成于上述隔膜和上述泵头之间的泵室、向上述泵室供给气体的吸入阀、和用于从上述泵室排出气体的排出阀；　其特征在于，在上述马达壳体和上述泵头之间设有收容上述连杆的泵壳体，上述泵壳体具有密闭结构。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：相川纯一，大坂泰介，
申请(专利权)人：ULVAC机工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]