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本实用新型属于半导体工艺中的辅助装置技术领域，具体涉及用于氧化工艺的点火注入装置，包括反应筒和点火炉，所述反应筒和所述点火炉通过碳化硅连接管连接。本实用新型提供的用于氧化工艺的点火注入装置，通过碳化硅连接管替代原先炉管与反应筒连接处石英球碗...
该专利属于无锡沃尼克半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡沃尼克半导体科技有限公司授权不得商用。

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