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本实用新型提供一种用于晶圆测试提升测试效率的吹气装置，包括进气导管、调节阀、进气仓、气流引导仓、压缩弹簧、限位卡扣、固定横板，气流引导仓上设置进气，进气仓外周设置压缩弹簧，进气仓顶部依次穿过固定横板、限位卡扣并连接调节阀，调节阀连接进气导管...
该专利属于无锡中微腾芯电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡中微腾芯电子有限公司授权不得商用。

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