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本实用新型属于半导体芯片加工技术领域，具体提供了一种晶圆对位传递承载装置，其包括晶圆固定底座，所述晶圆固定底座上开设有圆形凹槽；所述圆形凹槽内设置有晶圆固定柱，所述晶圆固定柱上下滑动连接在所述晶圆固定底座上；所述圆形凹槽下端设置有真空衬板，...
该专利属于湖北光安伦芯片有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北光安伦芯片有限公司授权不得商用。

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