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动态随机存取存储器制造技术
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文档序号:3239898
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一种动态随机存取存储器,包括衬底、沟渠式电容器、通过栅极结构、晶体管以及接触窗。衬底具有一个沟渠,且沟渠式电容器配置于衬底的沟渠中。通过栅极结构配置于沟渠式电容器上,且晶体管配置于通过栅极结构的一侧的衬底上。接触窗配置于通过栅极结构的另一侧...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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