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动态随机存取存储器的电容器接点结构制造技术
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文档序号:3239598
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一种电容器接点结构,适用于动态随机存取存储器的存储单元阵列区,此存储单元阵列区配置于基底上,且位于基底中的掺杂带上,此电容器接点结构包括闲置电容器与接触窗。其中,闲置电容器配置于基底的第一沟渠中,且第一沟渠底部暴露出部分掺杂带。闲置电容器包...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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