下载一种晶圆片切割机的技术资料

文档序号:32394038

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及切割机领域,公开了一种晶圆片切割机,包括机架以及设置于机架上的激光切割组件、操作平台、取物器、控制系统。操作平台上可拆卸地设置有晶圆定位圈,晶圆定位圈所在的操作平台上设置有若干气孔,气孔下方连接有真空发生器,激光切割组件设置于...
该专利属于厦门陆远科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门陆远科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。