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一种晶圆片切割机制造技术
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下载一种晶圆片切割机的技术资料
文档序号:32394038
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本实用新型涉及切割机领域,公开了一种晶圆片切割机,包括机架以及设置于机架上的激光切割组件、操作平台、取物器、控制系统。操作平台上可拆卸地设置有晶圆定位圈,晶圆定位圈所在的操作平台上设置有若干气孔,气孔下方连接有真空发生器,激光切割组件设置于...
该专利属于厦门陆远科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门陆远科技有限公司授权不得商用。
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