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在本发明的一个实施例中,在半导体材料主体(32)内形成了横向FET结构(30)。结构(30)包括多个与导电层(57)耦联在一起的非交叉指漏区(39),和多个与不同导电层(51)耦联在一起的源区(34)。一个或多个层间电介质(53、54)隔离...该专利属于半导体元件工业有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过半导体元件工业有限责任公司授权不得商用。
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在本发明的一个实施例中,在半导体材料主体(32)内形成了横向FET结构(30)。结构(30)包括多个与导电层(57)耦联在一起的非交叉指漏区(39),和多个与不同导电层(51)耦联在一起的源区(34)。一个或多个层间电介质(53、54)隔离...